[테크월드뉴스=박규찬 기자] TSMC가 2024년 8월 결산 속보를 10일(현지시간) 발표했다. 이번 발표에  따르면 매출은 전년 동월 대비 33% 증가한 2508억 7000만 NT달러(약 10조 4541억 원)로 지난 2차 금액으로 8월 단월로는 과거 최고를 갱신했다.

이는 AI 반도체의 수요 호조에 더해 애플 아이폰 16 시리즈용 SoC ‘A18’ 등의 매출이 계상된 결과로 보이며 2024년 1~8월까지 누적 매출액은 전년 동기 대비 30.8% 증가한 1조 7739억 7000만 NT달러다.

이 회사의 성장 견인 역할인 첨단 프로세스, 특히 3나노는 생산 능력이 절박해 대만 공급망 관계자로부터는 2024년 말까지 월산 8만 장, 가까운 미래에는 10만 장까지 생산 능력을 확대시킬 것으로 보인다. 아울러 대만 지역외 일본과 미국에서도 월산 1만 5000장 정도가 추가돼 합계 13만 장 정도까지 확대될 것으로 전망된다.

또 다른 관계자는 이 대만 지역 내에서 2만 장의 증강에 대해서는 한시라도 빨리 증강하고 싶은 경우 신공장을 건설하는 것이 아니라 일부 5나노 프로세스 라인을 3나노에 전용할 가능성이 있다고 언급했다.

일본의 JASM이 담당하는 구마모토 제1공장은 28/22나노와 16/12나노 프로세스, 제2공장은 12/6나노와 40나노 프로세스로 양산 예정이며, 3나노 생산은 아직 공식적으로는 발표되지 않았다. 다만 아직 가동 전인 제2공장의 생산품목 일부 변경 가능성 외에 3나노 이후를 담당하는 제3공장(구마모토 이외의 가능성도 포함한다)의 건설계획을 앞당기는 검토가 진행되고 있을 가능성 성도 제기되고 있다.

ASML ‘EXE:5000’, 올해 9월 TSMC R&D센터에 반입

이 밖에 새로운 미세화 대응을 위해 이 회사는 ASML의 고 NA(NA=0.55) EUV 노광장치 ‘EXE:5000’을 2024년 9월 말까지 대만의 신죽과학원구 다카야마 지구에 있는 TSMC 연구개발 센터에 반입할 전망이라고 디지타임스가 보도한 바 있다.

이는 인텔 및 ‘imec-ASML High NA EUV R&D 센터’에 이어 세계에서 3번째다. TSMC가 고 NA EUV를 양산에 적용하는 것은 이르면 2028년 무렵에 제공될 예정인 1.4나노 프로세스(A14)의 강화판이 되는 A14P 등 이후가 될 것으로 보인다.

TSMC 장샤오창 부공동영운장은 2024년 8월 2024년 안에 고 NA EUV 노광장치를 조달하되 생산에는 사용하지 않고 제휴 파트너와의 연구에 사용할 것이라고 밝힌 바 있다. 또 2024년 5월 시점에서 2026년 하반기에 가동 예정인 1.6나노 프로세스(A16)에는 고 NA EUV 노광 장치를 사용하지 않는다고도 말했다. 이런 발언으로부터 이 회사의 공급망 관계자에 따르면 TSMC가 빠르면 2028년경 제공 예정인 1.4나노 프로세스(A14P)의 강화판(A14P 등)부터 적용될 것으로 보이지만 본격적인 활용은 1나노 프로세스(A10) 이후가 될 것이라는 견해가 나오고 있다.

ASML의 높은 NA EUV 노광장치는 1대 3억 5000만 유로(약 550억엔) 이상이라고도 알려져 있으며, 장효강은 "성능은 마음에 들지만 가격이 너무 높다"고 평가.

정보통에 따르면 가격 협상 결과 ASML이 할인에 더해 기술자 교육, 보수 유지보수, 부품 교환 등을 지원해 공동 연구 개발비 분담률 인상에도 동의한 모양이라고 한다. ASML은 대규모 고객인 TSMC의 고NA EUV 노광장치 조달 계획을 빨리 하고 싶다는 생각도 있어 당초 예정하고 있던 2024년 말 납품 예정이 몇 개월 빨라진 모양이다.

ASML의 고 NA EUV 노광장치는 1대에 3억 5000만 유로(약 5173억 원) 이상이라고도 알려져 있으며 이에 대해 장샤오창 부공동영운장은 “성능은 마음에 들지만 가격이 너무 비싸다”라고 평가했다.

한편 소식통에 따르면 이번 가격 협상 결과 ASML이 가격 인하에 더해 기술자 교육, 유지보수, 부품 교체 등을 지원하고 공동연구 개발비 분담률 인상에도 동의한 것으로 알려졌다. ASML은 대규모 고객인 TSMC의 고 NA EUV 노광장치 조달 계획을 앞당기고 싶다는 생각도 있어 당초 예정하고 있던 2024년 말의 납품 예정이 수개월 앞당겨진 것으로 파악된다.